Handbook of silicon based MEMS materials and technologies

作者：edited by Markku Tilli ... [et al.]
出版社：William Andrew
ISBN：9780323312233 (electronic bk.) ; 0323312233 (electronic bk.) ; 9780323299657 (electronic bk.)
出版日期：2015
其他作者：Tilli, Markku.
版次：2nd ed.
語言：eng
出版地：London, UK :
內容簡介

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